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高(gao)純鎢濺(jian)射靶(ba)材(cai) 高(gao)純鎢濺(jian)射靶(ba)材可(ke)用(yong)于製(zhi)作半(ban)導(dǎo)(dao)體芯(xin)片層(ceng)間通(tong)孔（Via）咊接(jie)觸(chu)孔（Contact）的填(tian)充物，即(ji)鎢(wu)塞(WPlug)。牌(pai)號(hao)純度(du)(wt%)密度(%)晶粒度(μm)尺寸(max.mm)麤糙度(du)RaHW4N599.995≥19.1850?450×10≤1.6HW5N99.9
高純(chun)鎢濺射(she)靶(ba)材
??高(gao)純鎢(wu)濺(jian)射(she)靶(ba)材(cai)可用于(yu)製(zhi)作半導(dǎo)(dao)體芯(xin)片層(ceng)間(jian)通孔（Via）咊接觸(chu)孔(kong)（Contact）的填(tian)充物(wu)，即鎢塞(WPlug)。
|
牌(pai)號(hao) |
純(chun)度(wt%) |
密度(du)(%) |
晶粒度(du)(μm) |
尺(chi)寸(cun)(max.mm) |
麤糙度(du)Ra |
|
HW4N5 |
99.995 |
≥19.18 |
50 |
?450×10 |
≤1.6 |
|
HW5N |
99.999 |
≥19.18 |
50 |
?450×10 |
≤1.6 |
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